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无尘车间净化等级划分是依据什么?

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无尘车间净化等级划分是依据什么?

发布日期:2020-05-25 作者:李树贵 点击:

净化等级一般分为100级、1000级、10000级、100000级,现在2010年版的GMP净化车间已经不用这个叫法了,分为ABCD级别,分别相对应于98版的几个级别,通过检测区域内的尘埃粒子数、浮游菌数、沉降均数评价净化级别,各个级别有不同的要求,净化等级分静态、动态两种。

 

 

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()洁净室之等级世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。  

209E209D等最大之不同在于209E表示单位

增加了公制单位,洁净室等级以M′字头表示,如M1M1.5M2.5M3….以此类推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.52.53.5….表示。

洁净网z:Wg1pj   美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1Class 2Class 3……Class8表示,最好的等级为Class 1,最差则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。

()洁净室之定义  洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或洁净室。 「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。  

洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。

()洁净室控管之项目  

1.能除去空气中飘游之微尘粒子。  

2. 能防止微尘粒子之产生。  

3. 温度和湿度之控制。  

4. 压力之调节。  

5. 有害气体之排除。  

6. 结构物与隔间之气密性。  

7. 静电之防治。  

8. 电磁干扰预防。  

9. 安全因素之考虑。  

10. 节能之考量。


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